化學(xué)氣相沉積法是采用一定的方法把含有C源的氣體激活，臥式銑床在極低的氣體壓強(qiáng)下，立式銑床使碳原子在一定區(qū)域沉積下來，臥式銑床的碳原子在凝聚、立式銑床沉積過程中形成金剛石相。目前臥式銑床用于沉積金剛石的CVD法主要包括：微波、熱燈絲、立式銑床的直流電弧噴射法等。