車床的化學氣相沉積法，銑床是采用一定的方法把含有C源的氣體激活，車床在極低的氣體壓強下，銑床使碳原子在一定區域沉積下來，車床碳原子在凝聚、銑床的沉積過程中形成金剛石相。目前車床用于沉積金剛石的CVD法主要包括：微波、熱燈絲、銑床的直流電弧噴射法等。